1、开炉准备

1.1检查各电接头是否紧固，各组成部分是否清洁、正常。

1.2打开水冷系统总开关及各分开关，保证水压0.1～0.3MPa。

1.3打开压缩空气开关。

1.4打开充气系统总开关。（如工艺不需要，可不开）。

1.5电源总开关合闸。

1.6将电控箱上的各路开关合闸。

1.7调节控制仪表，使其符合真空钎焊工艺要求。

1.8油扩散泵加热：当扩散泵为真空状态时，打开维持阀，启动维持泵，对扩散泵抽真空延时，对油扩散泵提前加热。

2、开炉步骤

2.1打开炉门，将工件送入炉内，然后关闭炉盖。

2.2打开旁路阀，启动滑阀泵，对炉子抽真空。

2.3当炉内真空度≤670 Pa时，注意观察罗茨泵轴基本不转，启动罗茨泵。

2.4当炉内真空度达到10 Pa时，且扩散泵加热到温（约90～120分钟），关旁路阀，关维持阀，停维持泵。打开主路阀，打开扩散泵上的高真空阀。由扩散泵对炉体抽真空。

2.5当炉内真空度达到工艺规定值时，即可通电加热，炉子开始升温、保温（按设定的工艺曲线程控进行）。

2.6钎焊加热工艺结束后炉子断电停止加热。

2.7关闭高真空阀。停扩散泵加热并加强泵体的冷却。

2.8停罗茨泵，打开维持阀，启动维持泵。延时关主路阀，停滑阀泵。

2.9加强炉体冷却（此项按需要）。

2.10当炉内温度降至可出炉温度时（由钎焊工艺定）做出炉准备（或按工艺要求提前充入高纯氮气，加速降温）。

2.11打开炉体放气阀，使炉内压强恢复至大气压力，关闭炉体放气阀。

2.12打开炉门取出工件。

3停炉

3.1关闭充气系统总开关。

3.2当油扩散泵油温低于50℃时，关维持阀，停维持泵。此时应打开旁路阀，启动滑阀泵，使炉内保持在1×10-1Pa（真空计显示值）的真空状态，再关旁路阀，停滑阀泵。

3.3关闭压缩空气开关。

3.4关闭水冷系统总开关。

3.5断开电源总开关。